中文名稱：氮氣 超純氮氣
產品純度：99.9999%
包裝規格：44L
充裝量：5.5立方
充裝壓力：13.5mpa
英文名稱：Nitrogen
分子式：N2
分子量：28.013
CAS登錄號7727-37-9
| 序號 | 名稱 | 化學式 | 純度(%) | 壓力(Mpa) | 充裝量(m3/kg) | 閥門|螺紋出口 | 鋼瓶容積(L) | 鋼瓶尺寸(cm) | 鋼瓶皮重(kg) |
| 1 | 超純氮氣 | N2 | 99.9999 | 13.5 | 5.5 | CGA580 | 44 | 32×145 | 53 |
技術指標
高純氮氣作用
在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣，化學氣相淀積時的載氣，液體擴散源的攜帶氣，在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術中，液氫加注系統必須先用高純氮置換，再用高純氦置換。
